所用溶劑多為水、醇或水醇混合物，并以不含氟離子的水及價廉無毒的乙醇、異丙醇為宜。除氨烴基硅烷外，由其他硅烷配制的溶液均需加入醋酸作水解催化劑，并將pH 值調至3.5-5.5。長鏈烷基及苯基硅烷由于穩定性較差，不宜配成水溶液使用。氯硅烷及乙酰氧硅烷水解過程中，將伴隨嚴重的縮合反應，也不適于制成水溶液或水醇溶液使用。對于水溶性較差的硅烷偶聯劑，可先加入0.1%-0.2%（質量分數）的非離子型表面活性劑，而后再加水加工成水乳液使用。

        為了提高產品的水解穩定性的經濟效益，硅烷偶聯劑中還可摻入一定比例的非碳官能硅烷。處理難黏材料時，可使用混合硅烷偶聯劑或配合使用碳官能硅氧烷。配好處理液后，可通過浸漬、噴霧或刷涂等方法處理。一般說，塊狀材料、粒狀物料及玻璃纖維等多用浸漬法處理；粉末物料多采用噴霧法處理；基體表面需要整體涂層的，則采用刷涂法處理。

        硅烷偶聯劑醇－水溶液處理法工藝簡便，首先由95%的EtOH 及5%的H2O 配成醇－水溶液，加入AcOH 使pH 為4.5-5.5。攪拌下加入硅烷偶聯劑使濃度達2%，水解5min 后，即生成含Si－OH 的水解物。當用其處理玻璃板時，可在稍許攪動下浸入1-2min，取出并浸入EtOH 中漂洗2 次，晾干后，移入110℃的烘箱中烘干5-10min，或在室溫及相對濕度＜60%條件下干燥24h，即可得產物。

        如果使用氨烴基硅烷偶聯劑，則不必加HOAc。但醇－水溶液處理法不適用于氯硅烷型偶聯劑，后者將在醇水溶液中發生聚合反應。當使用2%濃度的三官能度硅烷偶聯劑溶液處理時，得到的多為3-8 分子厚的涂層。